Design and simulation of electrostatically actuated MEMS cantilever beam switch


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2011

Öğrenci: AYŞE ÖZGÜL ERTANIR

Danışman: SERHAT İKİZOĞLU